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SJ6000工業(yè)精密激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統(tǒng)可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

SJ6000激光干涉機床校準補償儀是一種高精度測量設備，采用邁克爾遜干涉原理進行線性測量，可以測量機床的線性定位精度、重復定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補償模塊，能夠自動補償激光波長和材料特性，從而確保測量結果的準確性。

SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000線性位移精度激光干涉測量儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

SJ6000機床導軌高精度激光干涉檢測儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

中圖儀器0.05ppm穩(wěn)頻精度激光干涉儀SJ6000非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng)，不僅僅局限于運動導軌，還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。