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以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測(cè)試的分辨率可達(dá)納米級(jí)。有測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測(cè)功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

中圖儀器的國(guó)產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)平行度、線性測(cè)長(zhǎng)、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀量程精度高，可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，配以相應(yīng)元件后還可以測(cè)量線速度、角度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。

SJ6000機(jī)床設(shè)備激光干涉儀品牌以光波為載體，其光波波長(zhǎng)直接對(duì)米進(jìn)行定義，廣泛應(yīng)用于機(jī)床、精密機(jī)械設(shè)備、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、三坐標(biāo)、機(jī)器人、線性位移平臺(tái)、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量，是高精度、高靈敏度測(cè)量?jī)x器。

GTS激光跟蹤儀是工業(yè)測(cè)量系統(tǒng)中一種高精度的大尺寸測(cè)量?jī)x器。它集合了激光干涉測(cè)距技術(shù)、光電探測(cè)技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論等各種**技術(shù)，對(duì)空間運(yùn)動(dòng)目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時(shí)測(cè)量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。它具有高精度、高效率、實(shí)時(shí)跟蹤測(cè)量、安裝快捷、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)，適合于大尺寸工件配裝測(cè)量。

國(guó)產(chǎn)自主研發(fā)GTS激光跟蹤儀是一種空間大尺寸三維坐標(biāo)精密測(cè)量的**幾何量?jī)x器，不僅可以對(duì)靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測(cè)量，還可以對(duì)運(yùn)動(dòng)的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測(cè)量，是大尺寸精密測(cè)量的主要手段。