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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)檢測設(shè)備輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓尺寸，此外具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

SuperViewW1半導(dǎo)體光學(xué)輪廓測量儀器用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。是以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

SJ5760-PR輪廓尺寸測量儀器測量精度高，量程大，測量速度快，智能化應(yīng)用與檢定軟件相結(jié)合，保護(hù)測針和測量系統(tǒng)，儀器操作靈活自如，可以大大提高測量工作效率。是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。

中圖儀器SJ5700尺寸輪廓測量儀具有精度高，量程大，測量速度快等特點(diǎn)。智能化應(yīng)用與檢定軟件相結(jié)合，保護(hù)測針和測量系統(tǒng)，儀器操作靈活自如，可以大大提高測量工作效率。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計(jì)量室使用。

中圖儀器3d光學(xué)影像輪廓測量儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。