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中圖儀器光學(xué)表面3d輪廓測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

?SJ5700接觸式輪廓測(cè)量?jī)x可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)，廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。儀器依據(jù)GB/T 19600-2004、GB/T3505-2009、GB/T6062-2009、GB/T10610-2009、JJF1105-2003等國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及ISO5436、ISO11562國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制造。

SJ5700表面輪廓測(cè)量?jī)x可測(cè)圓弧半徑、直線度、凸度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺(tái)階等形狀參數(shù)。還可對(duì)各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試；可對(duì)平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試，并實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)測(cè)量。

中圖儀器3D光學(xué)輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

w1光學(xué)3D表面輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。測(cè)量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場(chǎng)范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過(guò)程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)大時(shí)的位置，完成3D重建。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀W系列采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高。能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。