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晶圓在加工過程中的形貌及關(guān)鍵尺寸對器件的性能有著重要的影響,而形貌和關(guān)鍵尺寸測量如表面粗糙度、臺階高度、應(yīng)力及線寬測量等就成為加工前后步驟。以下總結(jié)了從宏觀到微觀的不同表面測量方法:單種測量手段往往都有著自身的局限性,實際是往往是多種測量方...
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臺階儀能檢測哪些東西?主要應(yīng)用在哪些領(lǐng)域?臺階儀是一種常見的工業(yè)測量儀器,廣泛應(yīng)用于大學(xué)、研究實驗室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。它能完成對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄...
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篩網(wǎng)是一種表面有均勻而穩(wěn)定的透氣孔、具有篩選和過濾作用的工業(yè)用品,常見的有金屬絲編織網(wǎng)和沖孔板篩網(wǎng),廣泛用于新能源汽車、太陽能光伏、冶金、煤炭、橡膠、石油、化工、制藥、建材、糧油等行業(yè)。篩網(wǎng)有著嚴(yán)格的網(wǎng)孔尺寸規(guī)范,需要符合標(biāo)準(zhǔn)認可,篩網(wǎng)的線...
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雙頻激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器,可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源發(fā)出兩個頻率不同的激光束,通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進行測量。在激光干涉儀中,激光源會發(fā)出兩個頻率不同的激光束,其中一個激光束為參考光,...
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晶圓檢測機,又稱為半導(dǎo)體芯片自動化檢測設(shè)備,是用于對半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量進行檢驗和測試的專用設(shè)備。它可以用于硅片、硅晶圓、LED芯片等半導(dǎo)體材料的表面檢測,通過對晶圓的表面特征進行全面檢測,可以有效降低產(chǎn)品的不良率,提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。一...
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測量和檢測是工業(yè)制造領(lǐng)域的重要環(huán)節(jié),而臺階儀和輪廓儀則是各有其特點和應(yīng)用范圍的兩種儀器。臺階儀和輪廓儀區(qū)別在哪?一、臺階儀1、產(chǎn)品概述臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器。它是利用光學(xué)干涉原理,對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表...
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雙頻激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器,可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源發(fā)出兩個頻率不同的激光束,通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進行測量。在激光干涉儀中,激光源會發(fā)出兩個頻率不同的激光束,其中一個激光束為參考光,...
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二次元影像測量儀是一種高精度的測量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于各種行業(yè),如機械、電子、模具、注塑、五金等。它的精度通??梢赃_到微米級別,靜態(tài)測量精度可達1μm,動態(tài)測量精度根據(jù)被測工件長度(3+L/200)μm計算。二次元影像測量儀的精度主要取決于其光...