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白光干涉顯微鏡

簡要描述:中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等,儀器分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。

  • 更新時間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號:SuperView W1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:841

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等,儀器分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測試直至100反射率的各類高反表面。

531.jpg

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用.jpg

軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置;

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進行修正;

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量;

提供點、線、圓弧、角度等特征測量,以及直線度、真圓度等形位公差評定,為用戶展現(xiàn)強大的輪廓分析功能;

提供基于表面的紋理分析,方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性;

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數(shù)、孔的體積等多種有針對性的分析功能;

提供頻譜分析功能,可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等;

提供線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能;

提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D,3D參數(shù)。

(3) 可視化的工作流模式,數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖,在每個節(jié)點既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度,3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征,并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內(nèi)置多種分析方案,可對特定表面進行一鍵分析,自動生成一組分析結(jié)果,節(jié)約操作時間;并可自定義方案,將用戶的分析項目組合起來,避免重復(fù)操作。

(6) 便捷的同步分析功能,可實時提取表面二維剖面,同步計算更新參數(shù)指標(biāo),實現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。

(7) 擁有多種報表形式,用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

超精密加工.jpg

超精密加工


性能參數(shù)

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標(biāo)準(zhǔn)視場0.98×0.98㎜(10×物鏡,光學(xué)ZOOM 0.5×)


XY位移平臺

尺寸
320×200㎜
移動范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
形貌重復(fù)性0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm
臺階測量

準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜


SuperViewW1白光干涉顯微鏡基于白光干涉原理,不僅用于零件的檢測,還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備,能完成缺陷尺寸的在線檢測。它特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


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