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NS系列探針式膜層厚度表面粗糙度臺(tái)階儀可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。樣品適應(yīng)面廣，對(duì)測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

VT6000太陽能電池片形貌共聚焦測量顯微鏡結(jié)合精密縱向掃描，在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)，從而重建出3D真彩圖像進(jìn)行分析?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器NS系列臺(tái)階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

VT6000高分辨率顯微鏡共聚焦光學(xué)系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成高精度測量系統(tǒng)。能在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

中圖儀器NS系列薄膜厚度臺(tái)階測量儀集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。它主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

中圖儀器SuperViewW納米級(jí)高精度白光干涉測厚儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

NS系列接觸式臺(tái)階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀輪廓，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

VT6000微米級(jí)工件共聚焦3d測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，能在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。