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中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺：電動手動均可調(diào)節(jié)。有自動化功能：自動單區(qū)域測量、自動多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動搜索測量、自動拼接測量；防撞保護：軟件設置防撞、硬件傳感器防撞。

中圖儀器Chotest白光干涉儀SuperViewW1是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器，具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW1白光干涉顯微測量儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器VT6000系列3d成像共聚焦測量顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測領域中，在陶瓷、金屬、半導體、芯片等材料科學及生產(chǎn)檢測領域中也具有廣泛的應用。例如，鋼的鑄造組織一般比較粗大，可直接用共聚焦顯微鏡進行觀察，同時可以利用其模擬微合金鋼在不同冷卻工藝下的凝固以及奧氏體不銹鋼的敏化過程，原位觀察過程中樣品表面的變化及與第二相析出情況。

VT6000系列光學納米共聚焦顯微鏡利用照明點與探測點共軛特性，可有效抑制同一焦點平面上非測量點的雜散熒光及來自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無法達到的分辨率。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。

在材料生產(chǎn)檢測領域中，VT6000激光共聚焦顯微鏡在陶瓷、金屬、半導體、芯片等材料科學及生產(chǎn)檢測領域中也具有廣泛的應用。例如，鋼的鑄造組織一般比較粗大，可直接用共聚焦顯微鏡進行觀察，同時可以利用其模擬微合金鋼在不同冷卻工藝下的凝固以及奧氏體不銹鋼的敏化過程，原位觀察過程中樣品表面的變化及與第二相析出情況。