白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域精度最高的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。

　　是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。

　　白光干涉儀的性能特征：

　　1、高精度、高重復(fù)性

　　3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測量精度和測量重復(fù)性。

　　2、一體化操作的測量分析軟件

　　測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

　　3、精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

　　4、雙重防撞保護(hù)措施

　?。?）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

　　即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動到該位置時，就立刻停止不再向下運(yùn)動，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。

　?。?）Z軸硬件防撞傳感器

　　在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價值和信任。